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國內(nèi)自研高分辨率掃描電鏡CEM3000系列采用鎢燈絲電子槍，其電子槍發(fā)射電流大、穩(wěn)定性好，以及對(duì)真空度要求不高，使得鎢燈絲臺(tái)式掃描電鏡能夠在較短的時(shí)間內(nèi)達(dá)到穩(wěn)定的工作狀態(tài)并獲得清晰的圖像，從而提高了檢測(cè)效率。

CEM3000系列臺(tái)式鎢燈絲掃描電鏡在工業(yè)領(lǐng)域展現(xiàn)出廣泛的應(yīng)用價(jià)值，標(biāo)配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統(tǒng)，能滿足用戶對(duì)多類型樣品的觀測(cè)需求，實(shí)現(xiàn)微觀的形貌和元素分析等。

NS系列探針式薄膜厚度臺(tái)階儀通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協(xié)同工作，結(jié)合亞埃級(jí)分辨率（5 Å）與智能化分析軟件，可精準(zhǔn)測(cè)量臺(tái)階高度（納米至1050μm）、表面粗糙度（Ra、Rz等參數(shù)）、膜層厚度及應(yīng)力分布，為材料研發(fā)、工藝優(yōu)化與質(zhì)量管控提供可靠數(shù)據(jù)支持。

CEM3000系列納米級(jí)成像高分辨掃描電鏡高易用性快速成像、一鍵成片，無需過多人工調(diào)節(jié)。超高分辨率優(yōu)于4nm(SE)，優(yōu)于8nm(BSE)@20kV，超大景深毫米級(jí)別景深，具有高空間分辨率。

CEM3000系列高倍成像臺(tái)式掃描電鏡操作系統(tǒng)簡(jiǎn)便，使用過程簡(jiǎn)單快捷。樣品一鍵裝入，自動(dòng)導(dǎo)航和一鍵出圖能力（自動(dòng)聚焦+自動(dòng)消像散+自動(dòng)亮度對(duì)比度）幫助用戶在短短幾十秒內(nèi)就可獲取高清圖像，大大提升了使用效率。

NS系列高精度探針式臺(tái)階儀主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測(cè)量。單拱龍門式設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性好，而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動(dòng)噪音對(duì)測(cè)量信號(hào)的影響，提高了測(cè)量精度。